特許
J-GLOBAL ID：200903043095196833
基板処理装置間のインターフェイス装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-331161
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211765
出願日： 1990年07月24日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 上手側プロセス装置で基板の位置ズレが生じても、基板が受渡される下手側プロセス装置に基板の位置ズレの影響がでないようする。【構成】 上手側プロセス装置1と下手側プロセス装置2との間に介在設置されるインターフェイス装置3において、両プロセス装置1,2の基板搬送機構101,102との間で基板を受渡しする基板受渡し機構6と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部8と、基板保管部8と基板受渡し機構6との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構9と、基板受渡し機構6により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合機構11とを備える。
請求項（抜粋）：
基板を処理する第1のプロセス装置と第2のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構と、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G02F 1/13 101
, H01L 21/027
