特許
J-GLOBAL ID：200903043098155313
ウェーハ研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-084115
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277417
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】ウェーハに欠陥を生じさせないリテーナリングを備えたウェーハ研磨装置を提供する。【解決手段】本発明は、キャリア24とウェーハ54との間に圧力エア層を形成してウェーハ54を研磨する研磨装置において、キャリア24からのウェーハ54の飛び出しを防止するリテーナリング30を、ウェーハ54の押圧力でウェーハ54の周縁形状に沿った形状に弾性変形するものを適用した。これにより、ウェーハ54は、研磨中においてリテーナリング30に面接触した状態で押し付けられるので、リテーナリング30からウェーハ54にかかる圧力が分散し、ウェーハ54に割れ欠け等の欠陥は生じない。
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持ヘッドに保持し回転する研磨定盤に押し付けて、ウェーハを研磨する研磨装置において、前記保持ヘッドは、回転すると共に前記研磨定盤に対向配置されるヘッド本体と、前記ヘッド本体に上下方向移動自在に支持されたキャリアと、前記キャリアの下面に設けられると共に前記ウェーハの裏面に向けてエアを吹き出すことにより、キャリアとウェーハとの間に圧力流体層を形成するエア吹出部材と、前記キャリアを前記研磨定盤に向けて押圧することにより、前記ウェーハを前記圧力流体層を介して前記研磨定盤に押し付ける押圧手段と、前記キャリアの外側に設けられ、該キャリアからのウェーハの飛び出しを防止すると共に、ウェーハの横方向からの当接によるウェーハの押圧力でウェーハの周縁の形状に沿った形状に弾性変形するリテーナーリングと、から成ることを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 E
, H01L 21/304 622 K
