ワーク保持機構

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-271462
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079455
出願日： 2000年09月07日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：

【要約】【課題】研磨中の加工圧力をワーク全体にわたって均一にし、研磨後のワーク全体の平坦性をより向上させる。【解決手段】押圧方向に垂直な面内でワークを保持するワーク保持機構において、ワーク(3)の中央部の裏面に接する押圧板(13)、ワークの周縁部の裏面に接する押圧ベース(17)、ワークの外縁を囲むリテーナリング(21)、押圧板、押圧ベースおよびリテーナリングを押圧方向に移動可能に保持するダイヤフラム(16,20,22)、ならびに押圧板、押圧ベースおよびリテーナリングの裏面に接し得るバルーン状弾性体を設け、バルーン状弾性体の空間部(100,102,104)に供給された流体の圧力によってバルーン状弾性体の弾性シート(15,19,23)を膨張させることにより、押圧板(13)および押圧ベース(17)を介してワーク(3)を研磨パッド(28)に押圧するとともに、リテーナリング(21)を研磨パッド(28)に押圧する。

請求項（抜粋）：

ワークを研磨パッドに押圧するとともに、押圧方向に垂直な面内でワークを保持するワーク保持機構であって、ワークの裏面の少なくとも一部に接する1または複数の押圧板、各押圧板を押圧方向に移動可能に保持するダイヤフラム、および各押圧板の裏面に接し得るバルーン状弾性体が設けられ、バルーン状弾性体内に供給された流体の圧力によってバルーン状弾性体が膨張することにより、押圧板を介してワークの表面の少なくとも一部が研磨パッドに押圧されるワーク保持機構。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 B , B24B 37/04 E , H01L 21/304 622 K

Fターム (10件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058BA05 , 3C058BB04 , 3C058BC01 , 3C058CA06 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058CB04 , 3C058DA17

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