両面同時研摩装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河内潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-094297
公開番号（公開出願番号）：特開平11-291164
出願日： 1998年04月07日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：

【要約】【課題】 2枚の研摩定盤のそれぞれの回転軸を異ならせて配置するようにした両面同時研摩装置において、加工された被加工物について高い平面度が確保されるようにした両面同時研摩装置を提供する。【解決手段】第1の研摩定盤の回転軸と第2の研摩定盤の回転軸とは両面同時研摩装置の設置面に対して水平かつ互いに平行であって異なる位置にあり、第1の研摩定盤と第2の研摩定盤との重畳部に挟持される円板状の被加工物の回転軸が、第1及び第2の研摩定盤の回転軸に対して平行かつ両回転軸の中間位置に配置されるように、被加工物を保持するキャリアを配置し、第1の研摩定盤、第2の研摩定盤、及び被加工物の3者をともに同じ向きに回転させる機構を設け、第1の研摩定盤と第2の研摩定盤との重畳部を挟み込むように両研摩定盤の外側に対向して一対の静圧パットからなる静圧保持部材を配置するようにした。

請求項（抜粋）：

対向して設けられた2枚の平面研摩定盤の重畳部に円板状の被加工物を挟んで研摩するようにした両面同時研摩装置において、第1の研摩定盤の回転軸と第2の研摩定盤の回転軸とは両面同時研摩装置の設置面に対して水平かつ互いに平行であって異なる位置にあり、第1の研摩定盤と第2の研摩定盤との重畳部に挟持される円板状の被加工物の回転軸が、前記第1及び第2の研摩定盤の回転軸に対して平行かつ両回転軸の中間位置に配置されるように、被加工物を保持するキャリアを配置し、第1の研摩定盤、第2の研摩定盤、及び被加工物の3者をともに同じ向きに回転させる機構を設け、第1の研摩定盤と第2の研摩定盤との重畳部を挟み込むように両研摩定盤の外側に対向して一対の静圧パットからなる静圧保持部材を配置するようにしたことを特徴とする両面同時研摩装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 621 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 F , H01L 21/304 621 A , H01L 21/304 622 K

前のページに戻る