波長可変型干渉光フィルタとその製造方法及び波長可変型干渉光フィルタ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本宜喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026314
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265722
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】入射光のうち特定の波長成分を分離し、波長を選択する狭帯域の干渉光フィルタであって、その波長を偏波面に依存することなく任意に選択できる波長可変型干渉光フィルタを提供すること。【構成】サブストレート2上に多層膜3を蒸着によって構成する。多層膜3は下部多層膜31,キャビティ層32,上部多層膜33から成り立っている。上部及び下部層膜31,33は、夫々高屈折率膜層31H,33H,低屈折率膜層31L,33Lを交互に積層して構成する。そしてサブストレート2のx軸方向に、その膜厚を透過波長λに対応させて全て波長がλ/4n(nは屈折率)となるように波長λ、即ち膜厚を連続的に変化させる。こうすれば光の入射位置に応じて選択波長が連続的に変化することとなる。

請求項（抜粋）：

所定の波長範囲で透過する光を連続的に変化させる偏波面無依存型の波長可変型干渉光フィルタであって、使用波長の範囲で光を透過させる物質によって形成されたサブストレートと、前記サブストレート上に形成され、所定範囲の波長の光を透過させる光透過率の高い物質によって形成された多層蒸着物質膜とを具備し、前記多層蒸着物質膜の光学厚さは、前記サブストレートの所定方向に沿って連続的に変化するように構成したものであり、この光フィルタへの入射光の照射位置を前記サブストレートの所定方向に沿って変化させることによって透過光の波長を変化させるようにしたことを特徴とする波長可変型干渉光フィルタ。

IPC (2件)：

G02B 5/28 , G02B 5/20

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭59-072861
特開平4-233501
特開昭59-072861

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