特許
J-GLOBAL ID：200903043114127457
コーテイング材及びそれを用いたカラー固体撮像素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-230320
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070735
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】固体撮像素子上に直接カラーフィルタを形成する際に、固体撮像素子表面の光受光部と配線部の凹凸段差を平滑にするコーティング材に関し、これを用いることで、簡易な工程で、欠陥、不良、バラツキの少ない精度良いカラーフィルタの作成を可能にするものである。【構成】架橋剤として分子量1000以下と、粘度200cps(25°C)以下および、固形分65〜100%を同時に有する、アルキル化メラミンまたはイソシアナートと、アクリル系共重合体とを主成分として構成する、低分子量で高濃度なコーテイング材により、固体撮像素子の光受光部と配線部の表面凹凸の凹部のみを充填した平滑化層を形成し、この平滑化層上に複数の色成分のからなる着色層を精度良く形成することを可能にしたカラー固体撮像素子の製造方法。
請求項（抜粋）：
熱架橋剤として、分子量1000以下と、粘度200cps(25°C)以下および、固形分65〜100%を同時に有する、アルキル化メラミンまたはイソシアネートと、アクリル系共重合体とを主成分として構成することを特徴とするコーティング材。
IPC (5件)：
C09D161/28 PHK
, G02B 1/10
, G02B 5/20 101
, H01L 27/14
, H04N 1/028
