静電容量式加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212024
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034654
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】センサの上,下、左,右、前,後の3軸方向の加速度を高精度に検出する。【構成】シリコン基板21と22の間に支持枠29および各支持梁31を介して可動電極30が支持される。前記シリコン基板21,22の対向面には、長方形状の固定電極25,26および27,28がそれぞれ6本づつ形成されている。また、可動電極30には4本の貫通穴32が穿設され、残りの各可動電極部33は前記各固定電極25,26,27,28に対して等しい離間距離、有効面積となる。そして、離間距離、有効面積の変位により静電容量が変化し、3軸方向の加速度を検出する。

請求項（抜粋）：

上,下に配設された一対の基板と、該各基板のそれぞれ対向する面に位置して形成された複数個の固定電極と、前記各基板間に挟持して設けられた支持枠と、該支持枠内に少なくとも1個の支持梁を介して設けられ、上,下に位置した前記各固定電極から等しい距離をもって離間した可動電極と、該可動電極が上,下に位置した各固定電極のうち、それぞれ隣合う電極に等しい面積をもって重なり合うように、該可動電極に貫通して形成された貫通穴とから構成してなる静電容量式加速度センサ。

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