特許

J-GLOBAL ID：200903043146653053

ウェハ試験装置

発明者： 田林 正敏
出願人/特許権者： アジアエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-008102
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208570
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 特殊なZif型コネクタを採用して、ウェハ測定用ボードとプローブカードとを電気的に接続できるようにする。【解決手段】 Zif型コネクタ106は、プローブカード104に放射状に取り付けられるヘッダ107と、ウェハ測定用ボードに取り付けられるリセプタクル108とで構成される。リセプタクル108は開閉レバー112を揺動して回転軸117を回転すると、内部の可動接点が開閉し、リセプタクル108内に挿入されたヘッダ107のヘッダ接点と接触または非接触状態となる。プローブカード104中心を中心に回動自在に設けられたリング113を、回動して複数の開閉レバー112を一斉に同方向に揺動させることにより、Zif型コネクタヘッダ107とZif型コネクタリセプタクル108の接続及び切り離しを行う。

請求項（抜粋）：

ウェハプローバに装着されるプローブカードと、テストヘッドに装着されるウェハ測定用ボードとの間を電気的に接続してウェハの試験を行うウェハ試験装置において、前記プローブカードと前記ウェハ測定用ボードとの間に、回転運動によって複数の接点が一斉に開閉するゼロインサーションフォース型コネクタを放射状に設けたことを特徴とするウェハ試験装置。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (4件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/28 K

Fターム (17件)：

2G003AA10 ,  2G003AG00 ,  2G003AG04 ,  2G011AA17 ,  2G011AE03 ,  2G011AF04 ,  2G032AA00 ,  2G032AF01 ,  2G032AL00 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30 ,  9A001JJ45 ,  9A001KZ54

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-053429
  
• 特開平2-021268