特許

J-GLOBAL ID：200903043152797784

チャック治具

発明者： 持田 欣也 ,  瀬川 丈士 ,  小田嶋 智 ,  細野 則義 ,  田中 清文
出願人/特許権者： リンテック株式会社 ,  信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-012644
公開番号（公開出願番号）：特開2007-194482
出願日： 2006年01月20日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：

【課題】 作業効率を向上させ、作業の迅速化を図ることのできるチャック治具を提供する。【解決手段】 XYZの三次元方向に移動可能、そして回転可能に設置された治具本体1と、この治具本体1の複数の面にそれぞれ形成された複数の凹み穴10と、各凹み穴10を被覆して半導体ウェーハW等の被保持物品を着脱自在に密着保持する複数の保持層20と、各保持層20に被覆された凹み穴10の空気を外部に排気する複数の排気路30とを備える。半導体ウェーハWを片面持ちではなく、両面持ちで密着保持することができるので、作業の迅速化が期待できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被保持物品を保持するチャック治具であって、三次元方向に移動可能でかつ回転可能な治具本体と、この治具本体が有する複数の面に形成された複数の凹部と、各凹部を被覆して被保持物品を着脱自在に密着保持する複数の保持層と、各保持層に被覆された凹部内の気体を外部に排気する複数の排気路とを含んでなることを特徴とするチャック治具。

IPC (4件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  B25J 15/06

FI (4件)：

H01L21/68 B ,  B65G49/06 A ,  B65G49/07 G ,  B25J15/06 Z

Fターム (25件)：

3C007AS24 ,  3C007DS02 ,  3C007DS05 ,  3C007FS00 ,  3C007FT07 ,  3C007FT08 ,  3C007GU00 ,  3C007NS12 ,  3C007NS13 ,  3C007NS15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA09 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA20 ,  5F031FA21 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA32 ,  5F031GA40 ,  5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-269270   出願人：株式会社ディスコ
• 研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-388136   出願人：株式会社ディスコ