特許
J-GLOBAL ID：200903043162906689
処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087517
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259059
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 処理カップ自体には洗浄のための何等の構造変更も施すことなく、処理カップ内を自動的に洗浄することができる手段を備えた処理装置を提供する。【構成】 処理カップ28の外部にノズルア-ム39を上下動及び水平動可能に設ける。ノズルア-ム39の先端部に洗浄液噴射ノズル43を水平回転可能に設けると共に、ノズルアーム39の下部に、洗浄液噴射ノズル43をノズルア-ムの下方に格納するためのノズル位置決め手段44を設ける。これにより、処理カップ28自体には洗浄のための何等の構造変更も施すことなく、処理カップ28内を自動的に洗浄することができる。
請求項（抜粋）：
被処理体を回転保持する回転保持手段と、上記被処理体上に滴下される処理液の飛散を防止すべく上記回転保持手段を包囲する処理カップとを有する処理装置において、上記処理カップの外部に上下動及び水平動可能に設けられたノズルア-ムと、このノズルア-ムの先端部に水平回転可能に設けられた洗浄液噴射ノズルと、この洗浄液噴射ノズルを位置決めするためのノズル位置決め手段とを具備してなることを特徴とする処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, G03F 7/16 502
