特許

J-GLOBAL ID：200903043163979337

スライシングマシン

発明者： 安部 誠一
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273085
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122118
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 ブレード位置補正装置を具備するスライシングマシンであって、しかも、適切なドレッシング時期を検出する。【構成】 電流検出器11によって、変流器10の出力に基づいて電源8で駆動されるモータ8の電流が検出され、検出された電流値を示すデジタルデータはコントローラ12へ出力される。コントローラ12は、センサアンプ4の出力に基づいてブレード1の変位を常時検出する。そして、この変位量が一定値(例えば、数μm)以下の場合はブレード変位補正を行わず、該一定値を越えた場合においてブレード補正を行う。また、コントローラ12は、検出器11の出力に基づいてブレード1の切断抵抗を常時検出する。そして、この値が予め設定されている一定値を越えた場合に、ドレッシング時期と判断し、警報器Aを駆動する。

請求項（抜粋）：

強磁性体からなるリング状のブレードを軸線廻りに回転させ、該ブレードの内周に形成された内周切刃で被加工物の切断を行うスライシングマシンにおいて、前記ブレードの厚さ方向の変位を検出するブレード位置センサと、前記ブレードに厚さ方向の非接触力を加える非接触力発生手段と、前記ブレードの変位が一定量を越えた時、前記非接触力発生手段を制御して前記ブレードの変位を補正する制御手段と、前記ブレードの切断抵抗を検出する検出手段と、前記検出手段の出力が一定値を越えた場合に警報を発する警報手段と、を具備してなるスライシングマシン。

IPC (3件)：

B28D 5/00 ,  B28D 1/22 ,  H01L 21/304 311

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-121769
  
• 特開平4-122608
  
• 特開平1-301063