特許
J-GLOBAL ID：200903043164776774
剥離装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-242076
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059862
出願日： 2001年08月09日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：
【要約】【課題】 簡単な装置構成で転写体を支持体に確実に保持させ、保護テープの剥離を確実に行うこと。【解決手段】 保護テープCを所定の一端側から他端側に向かって次第にウェハWから剥離する剥離装置10は、保護テープCが回路面に貼着されたウェハ転写体Hを支持する支持体12を備えており、この支持体12は、ウェハ転写体Hを支持した状態で、保護テープCよりも外側に位置するウェハ転写体Hの外側部分に接触可能な押え部材31を含んで構成されている。押え部材31は、保護テープCの剥離時にウェハ転写体Hの外側部分を押圧することで、ウェハ転写体Hを略一定位置に保つことが可能となっている。
請求項（抜粋）：
保護テープが貼着された被着体を含む転写体を支持する支持体を備え、前記保護テープを所定の一端側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する剥離装置であって、前記支持体は、前記転写体を支持した状態で、前記保護テープよりも外側に位置する転写体の外側部分に接触可能な押え部材を含み、この押え部材は、前記保護テープの剥離時に前記転写体の外側部分を押圧することで、前記転写体を略一定位置に保つことを特徴とする剥離装置。
引用特許：
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