特許
J-GLOBAL ID：200903043167541174
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-135020
公開番号（公開出願番号）：特開平11-325911
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 振動のもれを小さくし、また温度変動による零点ドリフトを小さくし、回転角速度を高精度で検出する。高さ方向へ薄い角速度センサとする。【解決手段】 枝部A2の枝面に励振電極を形成する。枝部A3,A4の枝面に検出電極を形成する。枝部A3,A4の形成位置は枝部A1の3次モードでの屈曲振動に際する腹位置とする。励振電極へ交流電圧eを印加し、枝部A2をY軸方向へ振幅をもつ伸縮振動をさせる。この伸縮振動によって枝部A1をX-Y平面に平行にY軸方向へ振幅をもって屈曲振動させ、枝部A3,A4をX-Y平面に平行にY軸方向へ反復移動させる。振動子素子AがZ軸の回りに回転すると、コリオリの力により枝部A3,A4がX軸方向成分をもって屈曲振動し、検出電極からコリオリの力に応じた電圧信号esが得られる。
請求項（抜粋）：
その両端が支持固定された第1の枝部と、この第1の枝部のほゞ中央部の枝面からこの枝面と直交する方向に延びその先端が支持固定された第2の枝部と、前記第1の枝部の一方の端部と中央部との間および他方の端部と中央部との間の枝面から前記第2の枝部の長手方向と平行する方向に延びた第3の枝部および第4の枝部とを備え、前記第1の枝部の長手方向に平行な方向をX軸方向、前記第2の枝部の長手方向に平行な方向をY軸方向、X-Y平面と直交する方向と平行な方向をZ軸方向とする振動子素子と、前記第2の枝部の枝面に形成された励振電極により、交流電圧の印加を受けて前記第2の枝部をY軸方向へ伸縮振動させ、この励振された伸縮振動によって前記第1の枝部をX-Y平面に平行にY軸方向へ振幅をもって屈曲振動させ、この屈曲振動によって更に前記第3の枝部および第4の枝部をX-Y平面に平行にY軸方向へ反復移動させる励振構造と、前記第3の枝部および第4の枝部の枝面に形成された検出電極により、この第3の枝部および第4の枝部がX-Y平面に平行にY軸方向へ反復移動しているとき、前記振動子素子がZ軸の回りに回転した場合、この第3の枝部および第4の枝部が慣性により生じるX軸方向成分による屈曲振動によって生ずる電荷を取り出す検出構造とを備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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