複合光学素子及びその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050461
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246291
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】一部が欠けても各光学素子の位置関係を正確に割り出すことが可能なマーカーを備え、高い歩留まりで光軸合わせが可能な複合光学素子及びその作製方法を提供すること。【解決手段】半導体レーザ11に赤外線を遮蔽する正方形のマーカー12,13を設け、Si基板14に赤外線を反射する正方形のマーカー15,16を設けて、上方より赤外光を照射し赤外カメラで観測した時に得られる画像を処理して各マーカー12,13,15,16のそれぞれの頂点の位置を求め、これらの頂点の位置から半導体レーザ11及びSi基板14の位置関係を求めて位置合わせを行った上で光学的に結合する。

請求項（抜粋）：

赤外光を遮蔽又は反射もしくは透過する位置合わせ用のマーカーをそれぞれ備えた複数の光学素子に対し、赤外光を照射してその反射光あるいは透過光を観測し、各マーカーの遮蔽像及び反射像あるいは透過像に基づいて各光学素子の位置合わせを行い、光学的に結合する複合光学素子において、位置合わせ用のマーカーの形状を、点対称な頂点を少なくとも2つ有する多角形状としたことを特徴とする複合光学素子。

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