特許
J-GLOBAL ID：200903043176413600
ユニバ-サルチャック用ウエハ取付板およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-352189
公開番号（公開出願番号）：特開2000-158268
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：
【要約】【課題】 研削・研磨時、ウエハに取付板の非通気性セラミック製環状仕切壁の模様が転写されず、かつ、平坦な表面を有するウエハを与えるユニバ-サルチャック用ウエハ取付板の提供。【解決手段】 通気性ポ-ラスセラミック製円板を中心とし、この円板の外周に軸心を同一、かつ、高さを同一にした複数の通気性ポ-ラスセラミック製環状体が配列され、前記通気性ポ-ラスセラミック製円板と通気性ポ-ラスセラミック製環状体の間および通気性ポ-ラスセラミック製環状体同士の間には、幅が0.1〜0.8mm、高さが前記円板と同一の溶射セラミックの非通気性薄膜環状仕切壁が配列されて全体として1枚の円盤を構成する、ユニバ-サルチャック用ウエハ取付板を提供する。
請求項（抜粋）：
通気性ポ-ラスセラミック製円板を中心とし、この円板の外周に軸心を同一、かつ、高さを同一にした複数の通気性ポ-ラスセラミック製環状体が配列され、前記通気性ポ-ラスセラミック製円板と通気性ポ-ラスセラミック製環状体の間および通気性ポ-ラスセラミック製環状体同士の間には、幅が0.1〜0.8mm、高さが前記円板と同一の溶射セラミックの非通気性薄膜環状仕切壁が配列されて全体として1枚の円盤を構成する、ユニバ-サルチャック用ウエハ取付板。
IPC (2件)：
B23Q 3/08
, H01L 21/304 622
B23Q 3/08 A
, H01L 21/304 622 H
3C016BA05
, 3C016CA04
, 3C016DA03
, 3C016DA05
