特許

J-GLOBAL ID：200903043188364159

表面形状測定装置

発明者： 柳沢 宗久
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-177672
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021709
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】 簡単な操作で被検体の表面状態の高精度な定量的測定を行なうことが可能な表面形状測定装置を提供する。【構成】 サンプル台3に被検体1が載置され、光学系8によって被検体1に光が投射され、モータ6によって、サンプル台3が単位角度毎に所定面を基準として傾角され、CCD16によって被検体1からの反射光が受光され、CPU17の指令によって、演算解析回路21により、単位角度毎に得られるCCD16の受光データに基づいて、被検体1の表面形状が演算解析される。

請求項（抜粋）：

被検体が載置されるサンプル台と、前記被検体に光を投射する光投射手段と、前記被検体からの反射光を受光する受光手段と、前記サンプル台を所定面を基準として傾角するか、前記光投射手段と受光手段とを移動させて被検体の受光面となす角度を変化させることにより傾角するか、または、前記サンプル台の所定面を基準としての傾角と前記光投射手段と受光手段との移動による傾角とを組み合わせて傾角する傾角手段と、前記傾角手段の傾角によって、単位角度毎に得られる前記受光手段の受光データに基づいて、表面凹凸を検出する検出手段とを有することを特徴とする表面形状測定装置。