特許

J-GLOBAL ID：200903043189332269

加速度センサ

発明者： 山下 宗治 ,  多保田 純 ,  水野 利弘 ,  井上 二郎
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-127290
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322915
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】剛性の低い部材を用いながらも加速度検出素子の耐衝撃性を高めることができ、その全体形状の小型化を図ることができる加速度センサを提供する。【構成】信号取り出し用電極5,6が表面上に並列形成されたハイブリッドIC基板1と、電極5,6間に架設された加速度検出素子2とを備えた加速度センサであって、この検出素子2は、分極方向A1 ,A2 がハイブリッドIC基板1の表面に平行する向きとされ、分極方向A1 ,A2 のそれぞれが逆向きとされた圧電体素子8,9を具備しており、圧電体素子8,9それぞれの分極方向A1 ,A2 と平行する一面8a,9aがウェイト10を介して、または、分極方向A1,A2 と直交する一面8c,9cが密着して導通接続される一方、その他面8b,9bもしくは8d,9dは電極5,6の各々と個別に導通接続されている。

請求項（抜粋）：

一対の信号取り出し用電極(5,6)が表面上に並列形成されたハイブリッドIC基板(1)と、信号取り出し用電極(5,6)間に架設された加速度検出素子(2)とを備えた加速度センサであって、加速度検出素子(2)は、各々の分極方向(A1,A2)がハイブリッドIC基板(1)の表面に平行する向きとされ、かつ、分極方向(A1,A2)のそれぞれが互いに逆向きとされた一対の圧電体素子(8,9)と、これら間に架設されたウェイト(10)とを具備しており、圧電体素子(8,9)それぞれの分極方向(A1,A2)と平行する一面(8a,9a)同士はウェイト(10)を介して導通接続される一方、圧電体素子(8,9)それぞれの分極方向(A1,A2)と平行する他面(8b,9b)は信号取り出し用電極(5,6)の各々と個別に導通接続されていることを特徴とする加速度センサ。