特許
J-GLOBAL ID：200903043195529511
画像強調技法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 金井 建
, 森 徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-506399
公開番号（公開出願番号）：特表2008-536188
出願日： 2005年04月15日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：
本発明は、移動するワークピースの上に露光されるべき画像内の少なくとも1つのエッジ急峻度特徴を向上させるための方法に関し、この方法は、ワークピースの移動方向に対して本質的に同一方向に画像を移動させる行為と、前記画像の前記移動を露光放射源のパルス長に同期させる行為とを含む。また、本発明は、ワークピースの上にパターンを生成するためのパターン発生器にも関する。
請求項（抜粋）：
移動するワークピースの上に露光されるスタンプ内の少なくとも1つのエッジ急峻度特徴を向上させるための方法であって、
前記スタンプを表現するパターンを前記ワークピースの移動方向に対して本質的に同一方向に移動させる行為と、
前記パターンの前記移動を露光放射源のパルス長に同期させる行為と、
を含む方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 505
, H01L21/30 529
2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097CA06
, 2H097GB04
, 5F046BA07
