特許
J-GLOBAL ID：200903043197107878
カンチレバー及びその製造方法、並びに同カンチレバーを用いた走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018458
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189931
出願日： 1995年01月10日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】 探針の導電部分の摩耗を防止し、計測の分解能の低下の進度を低減させる。【構成】 カンチレバーは、薄膜状梁部1と、薄膜状梁部1の先端側領域に突設された探針3とを備えている。探針3は、導電性を有する突起4と、突起4の先端及び周囲を覆うとともに突起4の先端側の厚みが他の部分の厚みに比べて薄い酸化珪素膜5とから構成されている。
請求項（抜粋）：
薄膜状梁部と該薄膜状梁部の先端側領域に突設された探針とを備えたカンチレバーにおいて、前記探針が、導電性を有する突起と、該突起の先端及び周囲を覆うとともに前記突起の先端側の厚みが他の部分の厚みに比べて薄い酸化珪素膜とからなることを特徴とするカンチレバー。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01R 1/073
, H01J 37/28
