感放射線性組成物用アルカリ性現像液

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266344
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120935
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【構成】本発明に係る感放射線性組成物用アルカリ性現像液は、[A]アルカリ性化合物および[B]非イオン性界面活性剤を含む水溶液であって、(i) pHが9〜13であり、かつ(ii)上記の非イオン性界面活性剤を0.01〜1.0重量%の量で含有している。【効果】本発明に係る感放射線性組成物用アルカリ性現像液を用いて塗膜を現像してレジストパターンあるいはカラーフィルタを形成すると、膜はがれを生じることなくかつ不要な塗膜を充分に溶解して除去することができ、スカム、膜残りなどを発生することなくシャープなパターンエッジを有する画素(カラーフィルタ)またはレジスト膜などを形成することができる。

請求項（抜粋）：

[A]アルカリ性化合物および[B]非イオン性界面活性剤を含む水溶液であって、(i) pHが9〜13であり、かつ(ii)上記の非イオン性界面活性剤を0.01〜1.0重量%の量で含有することを特徴とする感放射線性組成物用アルカリ性現像液。

IPC (2件)：

G03F 7/32 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平4-032849
特開平3-101735
画像形成材料及びそれを用いる画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-239484 出願人：富士写真フイルム株式会社

全件表示

前のページに戻る