特許
J-GLOBAL ID：200903043217460715
面精度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343599
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174447
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 高精度の面精度測定装置の容易な実施化を図ること、並びに装置の小型化と応用の範囲の拡大を目的として、一般利用可能な構成からなる面精度測定装置を提供すること。【構成】 被測定面で反射された測定用光束と、参照用光束とを互いに干渉させて生ずる干渉縞から球面精度を測定する面精度測定装置であって、光源手段が光源からの光束を伝達する固体光伝送路を有し、この光伝送路の光出射部から出射する光束を前記測定用光束及び参照用光束として利用するもの。
請求項（抜粋）：
光源手段からの光束の照射位置に被測定面となる凹球面を配置し、この被測定面で反射された測定用光束と、参照用光束とを互いに干渉させ、該干渉により生ずる干渉縞の状態を検知することにより、前記被測定面の球面精度を測定する面精度測定装置において、前記光源手段の出射光束を伝達する固体光伝送路を有し、この光伝送路の光出射部から出射する光束を前記測定用光束及び参照用光束として利用することを特徴とする面精度測定装置。
IPC (2件)：
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