特許
J-GLOBAL ID：200903043224018718
圧電振動式角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344347
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160074
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【目的】 圧電振動式角速度センサの電極形成工程における圧電振動子の脚部と脚部の電極膜の短絡を改善することにある。【構成】 圧電振動子の脚部と脚部の略中間に凸部を少なくともひとつ設けることにより、圧電振動式角速度センサの電極形成工程のレジスト除去における、UV照射が不十分であっても、圧電振動子の脚部と脚部の略中間に凸部を形成することにより、凸部角部への電極膜蒸着が回り込みにくいことを利用し脚部間の電極短絡を低減することで目的を達成する。
請求項（抜粋）：
U字型圧電振動子と、このU字型圧電振動子の脚部に励振電極と、検出電極を備え、前記励振電極に交流電圧を印加することによって該圧電振動子を振動させながら、該圧電振動子の検出電極に生ずる電荷信号に基づいて前記脚部の伸縮方向の回りに作用する角速度を検出する圧電振動式角速度センサにおいて、一方の脚部と他方の脚部の略中間に少なくとも一つの凸部を、該圧電振動子の板厚方向に構成したことを特徴とした圧電振動式角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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角速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-305096
出願人：松下電器産業株式会社
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特開昭54-029596
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特開昭52-021790
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