特許
J-GLOBAL ID：200903043225372485
電子放出用電極、それを用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280902
公開番号（公開出願番号）：特開平6-111788
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 駆動電圧の安定化を図った電子放出用電極、それを用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法を提供することを目的とする。【構成】 蛍光パネル10は、枠ガラス板11により密閉室12が形成されており、密閉室12内には、一対の電子放出用電極1が配設されている。電子放出用電極1は、金属基板2上に表面電極3と保護膜が順次積層され、この保護膜が酸化物5となっている。ガス源18から不活性ガスを注入しつつ、真空ポンプ21で密閉室12内のガスを排出し、加熱炉16で加熱しつつ電子放出用電極1に電圧を印加して放電させる。この放電により酸化物5がスパッタされ、スパッタされた酸化物5は、真空ポンプ21により密閉室12の外に排出される。スパッタが完了すると、酸化物5の除去された電子放出用電極1を備え、密閉室12内に不活性ガスの充満されたた蛍光ランプが完成する。
請求項（抜粋）：
所定の電極用物質で所定形状に形成された電子放出用電極において、前記電子放出用電極の表面に、酸化され易くスパッタにて除去され易い物質で保護膜を形成したことを特徴とする電子放出用電極。
IPC (3件)：
H01J 63/08
, H01J 9/02
, H01J 63/02
