特許

J-GLOBAL ID：200903043227223495

角速度センサ

発明者： 寺田 二郎 ,  松原 克憲 ,  山本 毅
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-082157
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277248
出願日： 2001年03月22日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】 駆動振動方向に直角に作用するコリオリ力が駆動する力に比較して極めて小さいため、質量部の駆動振動方向以外の振動成分とコリオリ力による振動成分とを区別することが難しい。【解決手段】 第1の梁110と、この梁と同一平面上で左右両側に平行に配置され前記第1の梁110と同一長の第2の梁111、第3の梁112と、前記第1、第2、第3の梁の各々の端部を接続する第4の梁113、第5の梁114とから構成され、前記第1の梁110の中心部が支持固定されている検出素子を備えたものである。

請求項（抜粋）：

第1の梁と、この梁と同一平面上で左右両側に平行に配置され前記第1の梁と同一長の第2、第3の梁と、前記第1、第2、第3の梁の各々の端部を接続する第4、第5の梁から構成され、前記第1の梁の中心部が支持固定されている検出素子を有する角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z

Fターム (9件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13