特許
J-GLOBAL ID：200903043244529700
挿入光源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-011727
公開番号（公開出願番号）：特開平9-204998
出願日： 1996年01月26日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 磁石の劣化と、磁石列の間に発生する磁場の強度の低下を防止する。【解決手段】 同形状の複数の磁場発生用磁石21を隣接するものの磁性が交互に異なるように配置した一対の磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場発生用磁石21が真空チェンバ1を挟んで対峙するように配置した挿入光源において、磁石列を2条の分割磁石列20a,20bによって構成し、真空チェンバ1の内部を進行する電子ビームの軌道と分割磁石列20a,20bとが真空チェンバ1を介して正対しないように各分割磁石列20a,20bを配置する。
請求項（抜粋）：
同形状の複数の磁場発生用磁石を隣接するものの磁性が交互に異なるように配置した一対の磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場発生用磁石が真空チェンバを挟んで対峙するように配置した挿入光源において、磁石列を2条の分割磁石列によって構成し、真空チェンバの内部を進行する電子ビームの軌道と分割磁石列とが真空チェンバを介して正対しないように各分割磁石列を配置したことを特徴とする挿入光源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H 13/04 F
, G21K 1/093 Z
