特許

J-GLOBAL ID：200903043245502180

窒化珪素粉末及びその製造方法

発明者： 平田 武彦 ,  秋山 勝徳
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 藤田 考晴 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169118
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】【課題】 従来の窒化珪素粉末の様な焼結体特性を低下させる可能性がある不純物の混入が無く、しかも、その形状がウイスカー状から球状まで制御された窒化珪素粉末及びその製造方法を提供する。【解決手段】 α型窒化珪素粉末をカーボン坩堝または窒化ホウ素坩堝のいずれかに充填し、9kgf/cm2以上かつ10kgf/cm2未満の圧力の不活性雰囲気下、かつ2000°C以上の最高保持温度で加熱して得られる窒化珪素粉末であって、β型窒化珪素粉末は、得られた窒化珪素粉末全体に対して4%以上含まれてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

α型窒化珪素粉末をカーボン坩堝に充填し、9kgf/cm2以上かつ10kgf/cm2未満の圧力の不活性雰囲気下、かつ2000°C以上の最高保持温度で加熱して得られる窒化珪素粉末であって、β型窒化珪素粉末は、得られた窒化珪素粉末全体に対して4%以上含まれてなることを特徴とする窒化珪素粉末。

IPC (2件)：

C01B 21/068 ,  C04B 35/626

FI (2件)：

C01B 21/068 R ,  C04B 35/58 102 Q

Fターム (9件)：

4G001BA32 ,  4G001BB32 ,  4G001BC03 ,  4G001BC12 ,  4G001BC31 ,  4G001BC62 ,  4G001BE03 ,  4G001BE21 ,  4G001BE23