特許
J-GLOBAL ID：200903043246257724
プローブ探針検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-050744
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248038
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 プローブ探針検査方法に関し、プローブ探針の先端の損傷を早期に確実に発見することができるプローブ探針検査方法を提供する。【構成】 プローブ探針によって被測定試料の表面に接触もしくは所定の間隔で近接させて走査して被測定試料の表面の形状あるいは電気量を測定する際、プローブ探針の先端の状態を測定してその測定結果を記憶し、後にプローブ探針の先端の状態を測定した結果を先に記憶しているプローブ探針の先端の状態と比較することによって、プローブ探針の損傷の程度を判定する。プローブ探針の先端を被測定試料の絶縁被膜を有する配線、電極等の導体表面、または標準試料の表面に押し付けて押し付け深さを測定することによって、または、プローブ探針の先端を凹凸パターンを有する標準試料の表面に接触もしくは近接させて走査することによってプローブ探針の先端の状態を測定する。
請求項（抜粋）：
プローブ探針によって被測定試料の表面に接触もしくは所定の間隔で近接させて走査し、該被測定試料の表面の形状あるいは電気量を測定する際、該プローブ探針の先端の状態を測定してその測定結果を記憶し、後に該プローブ探針の先端の状態を測定した結果を、先に記憶している該プローブ探針の先端の状態を測定した結果と比較することによって、該プローブ探針の損傷の程度を判定することを特徴とするプローブ探針検査方法。
IPC (5件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G01R 1/06
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, G01R 1/06 Z
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
