基板処理液槽の排液機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-313933
公開番号（公開出願番号）：特開平11-147035
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】オーバーフロー配管を介して汚染雰囲気が流入することを防止する。【解決手段】処理液タンク30に接続されたオーバーフロー配管50の下端は、トラップタンク60内に処理液貯留室61内に貯留された処理液に接液している。この処理液貯留室61には、第1排液配管581から、処理液タンク30内の処理液が導かれるようになっている。処理液貯留室61に処理液が流入すると、排液室62に処理液があふれ、第2排液配管582に排液される。第2排液配管582からの汚染された雰囲気は、処理液貯留室61に貯留された処理液によって遮断され、オーバーフロー配管50に流入することはない。【効果】処理液貯留室61内の処理液は、処理液タンク30の処理液の交換のたびに入れ替わるから、処理液貯留室61の内部で処理液の結晶化が生じることはない。

請求項（抜粋）：

基板に対して処理を施すための処理液を貯留する処理液槽と、この処理液槽に一方端が接続され、処理液槽から処理液を排液するための第1排液配管と、上記第1排液配管の他方端が接続され、その第1排液配管から排液された処理液が貯留される貯留室と、この貯留室に隣接して設けられ、貯留室からあふれ出た処理液を排出するための第2排液配管が接続された排出室と、上記処理液槽に一方端が接続され、上記第1排液配管から上記貯留室に至る経路のいずれかの位置に他方端が接続されて、上記処理液槽内の処理液が所定量以上になったときに処理液槽から処理液をオーバーフローさせるオーバーフロー配管とを備えたことを特徴とする基板処理液槽の排液機構。

IPC (6件)：

B01J 4/00 103 , B08B 3/04 , C23F 1/08 101 , C23G 3/00 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341

FI (6件)：

B01J 4/00 103 , B08B 3/04 Z , C23F 1/08 101 , C23G 3/00 Z , H01L 21/304 341 Z , H01L 21/30 569 Z

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