特許

J-GLOBAL ID：200903043253359575

誘電体電極アクチュエータ

発明者： ラトビッチ・マーク ,  和田 恭雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090778
公開番号（公開出願番号）：特開平9-285143
出願日： 1996年04月12日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 従来よりも格段に小型で、かつ高パワーを出力可能にする誘電体電極アクチュエータを提供することにある。【解決手段】 誘電体で構成された櫛型電極2、導電体で構成された櫛型電極1、3からなる。この櫛型電極1に正電圧、櫛型電極3に負電圧を各々印加すると、電極1及び3間に走る電気力線4は、電極1及び3間の空間の誘電率によって決まる経路を走る。従って該誘電体で構成された櫛型電極2は、導電体で構成された櫛型電極1、3よりなる構造の内部に引き込まれるような力、即ち図1において左向きの力を受ける。【効果】 本発明によれば、従来の静電アクチュエータよりも大きな力を発生できる。またこの技術を応用することにより、従来よりも格段に小型で、かつ高効率な静電アクチュエータを可能にする。

請求項（抜粋）：

静電アクチュエータの電極の少なくとも一部が誘電体で構成されていることを特徴とする誘電体電極アクチュエータ。