特許
J-GLOBAL ID:200903043254852577

研磨装置の加圧機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-334244
公開番号(公開出願番号):特開平5-138519
出願日: 1991年11月22日
公開日(公表日): 1993年06月01日
要約:
【要約】【目的】 ワークの研磨加工時に、ワークに低荷重を安定して作用させる。【構成】 X軸機構部1上にθ軸機構部2およびZ軸機構部8を設ける。θ軸機構部2にワークスピンドル3を取り付け、ワークスピンドル3先端のワーク保持具7にワーク6を保持する。Z軸機構部8にアーム11を上下動可能に設け、アーム11にスピンドル20を取り付ける。スピンドル20の先端にポリッシャ9を取り付けてワーク6を加工する。アーム11にねじロッド14を水平方向に支持し、ねじロッド14の一端に重錘13を取り付け、他端にハンドル15を取り付ける。ハンドル15の回転操作で重錘13を移動し、アーム11の支軸12に対する距離を調整する。ワーク6の表面への荷重がアーム11の支軸12を介して作用するため、低荷重を安定して作用させることができる。
請求項(抜粋):
加工物の球面形状および非球面形状をポリッシャにより倣わせながら研磨する研磨装置において、前記ポリッシャをその軸先端に取り付けて回転させるスピンドルと、このスピンドルを揺動自在に支持するアームと、このアームの揺動支点に対して移動可能に取り付けられた重錘とを備えていることを特徴とする研磨装置の加圧機構。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-232956

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