特許
J-GLOBAL ID:200903043261399497

レーザドツプラー速度計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-227269
公開番号(公開出願番号):特開平5-066274
出願日: 1991年09月06日
公開日(公表日): 1993年03月19日
要約:
【要約】【目的】 各光学部品のアライメント調整が不要で、しかも耐振動性に優れたレーザドップラー速度計を提供することを目的とする。【構成】 レーザドップラー速度計は、光導波路6、7、8、及び3dBカプラ9、10を形成した導波路チップ5によって一体型の干渉器を構成し、さらにこの導波路チップ5に隣接し、光導波路6とLDチップ3、光導波路7とPDチップ4の各々をそれぞれ同一の光軸上に固定し、基板1上に一体的に固定することを特徴とし、PDチップ4で光学的にヘテロダイン検波された出力信号を計測器2で計測するものである。
請求項(抜粋):
第1、第2及び第3の光導波路を有する導波路素子と、該導波路素子の一端面に隣接し、前記第1の光導波路の一端部において当該第1の光導波路と同一の光軸上に固定され、かつ該第1の光導波路を介して移動物体にレーザ光を出射する半導体レーザと、前記導波路素子の一端面に隣接し、前記第2の光導波路の一端部において当該第2の光導波路と同一の光軸上に固定され、かつ前記半導体レーザから前記移動物体に向けて出射されたレーザ光の反射光を前記第2の光導波路を介して受光する受光素子と、前記導波路素子に形成され、前記半導体レーザから出射され前記第1の光導波路を伝播するレーザ光の一部を分岐し、前記第3の光導波路に入射させるための光分岐手段と、前記導波路素子に形成され、前記第3の光導波路を伝播するレーザ光を前記第2の光導波路に入射させ、該第2の光導波路を伝播する反射光と合波させるための光結合手段とを備え、前記第3の光導波路を伝播するレーザ光の進行方向が、前記第2の光導波路を伝播し前記受光素子に入射する前記反射光の進行方向と一致するように、当該第3の光導波路により、この中を伝播するレーザ光の進行方向を規定することを特徴とするレーザドップラー速度計。
IPC (3件):
G01S 17/58 ,  G01S 7/48 ,  G02B 6/12

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