特許
J-GLOBAL ID：200903043266125344
形状計測方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289179
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108422
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 基準平板の位相分布および基準平板に投影された格子の位相分布を全自動で精度よく求めることができる形状計測方法および装置を提供する。【解決手段】 基準板に液晶板等のディスプレイを用い、そのディスプレイの表面に光拡散板を配置することにより、ディスプレイに映し出された格子模様を光拡散板に表示し、また、プロジェクタからの投影格子画像を同じ光拡散板上に投影し、同一平面上における基準板の位相分布と投影された格子画像の位相分布の両方を得られるようにする。
請求項（抜粋）：
(1)画面表面に光拡散板が配置され、2次元格子が表示され、基準表面を構成する表示装置を、前記基準平面と直角方向に平行移動できるよう1軸テーブル上に設置する工程と、(2)テレビカメラを前記の2次元格子が写る位置に設置する工程と、(3)格子投影装置を前記基準平面に格子が投影できる位置に設置する工程と、(4)複数の位置における前記基準表面に表示された2次元格子を撮影した画像から位相値分布を計算してその結果をコンピュータメモリに記録する工程と、(5)複数の位置における前記基準表面に格子投影装置から投影された2次元格子を撮影した画像を位相値データに変換してコンピュータメモリに記録する工程と、(6)試料物体上に格子投影装置から投影された2次元格子を撮影し、それぞれの画素について、その画素の画面内座標と投影格子の位相値および位相値分布計算メモリと撮影画像より変換した位相値データメモリとで計算されたデータからその画素に写されている計測対象物上の点の空間座標を算出する工程とを具えることを特徴とする形状計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 E
, G01B 11/24 K
2F065AA01
, 2F065AA51
, 2F065BB01
, 2F065BB29
, 2F065CC25
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065FF61
, 2F065GG15
, 2F065HH06
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL30
, 2F065LL41
, 2F065LL49
, 2F065NN01
, 2F065NN20
, 2F065PP12
, 2F065QQ00
, 2F065QQ16
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ28
, 2F065QQ32
