特許

J-GLOBAL ID：200903043271058051

流速センサ

発明者： 村田 憲彦 ,  田辺 誠
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコー精器株式会社 ,  リコーエレメックス株式会社
代理人 (2件)： 高野 明近 ,  高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323980
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181067
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：

【要約】【目的】 広い流速域に渡って直線性良く流速を計測することを可能にし、かつ、周囲温度や素子の経時変化による出力信号の変動を軽減する。【構成】 電気的絶縁膜3を有する半導体基板7上に堀6と、堀6上に橋架され電気的絶縁膜3の橋と、この橋上に設けられた発熱体1および発熱体温度測温体2と、電気的絶縁膜3上の一部に設置された流体温度測温体4とからなる感熱式流速センサを用いる。流体温度測温体4と発熱体温度測温体2とを、異なる温度差となるように発熱体1を駆動し、高い温度差で駆動したときの発熱体1の両端の電位差V1から、低い温度差で駆動したときの発熱体1の両端の電位差V2を引き算して流速信号とする。

請求項（抜粋）：

上面に電気的絶縁膜を有する基板上に設けられた堀と、前記電気的絶縁膜により形成され前記堀を架橋する橋と、該橋上に設けられた発熱体および発熱体温度測温体と、流体の流れ方向に対し、前記堀より上流の前記電気的絶縁膜の一部に設置された流体温度測温体を有する感熱式流速センサと;該感熱式流速センサの前記発熱体温度測温体と流体温度測温体との温度差を一定に保って前記発熱体を駆動する駆動手段と;前記温度差を2つの異なる温度に設定したときのそれぞれ出力電圧を測定し、高い温度設定で測定した前記発熱体の両端電位差から、低い温度設定で測定した前記発熱体の両端電位差を引き算する演算手段を有し、該演算手段の出力から流速信号を得ることを特徴とする流速センサ。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12