特許

J-GLOBAL ID：200903043275968770

流体濃度制御装置

発明者： 中島 和男 ,  大神 信敏
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168712
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015146
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 光検出器の感度変動の影響を抑制することにより、流体濃度を正確に調製することができる流体濃度制御装置を提供する。【構成】 光源21からの照射光は、光分岐部22によって参照セル23と試料セル19に照射される。両セル23,19とを透過した透過光は、光路切換部24によって交互に一つの光検出器25に照射される。光路切換部24は、濃度制御部30の光路切換制御部33によって制御されている。透過光強度測定部31は、光路切換制御部33が光路切換部24を制御するタイミングに同期して透過光を試料透過光強度と参照透過光強度として測定する。その透過光強度比について移動平均を求め、これが順次に濃度算出部34へ出力される。濃度算出部34は、透過光強度比の移動平均に基づいて濃度を算出し、フィードバック制御部35により目標濃度と比較されて供給量制御部36に制御信号が出力される。

請求項（抜粋）：

試料である流体の透過光強度(試料透過光強度)と基準となる透過光強度(参照透過光強度)とを測定し、これらの比に基づいて前記流体の濃度を調製する流体濃度制御装置であって、前記流体が流通または充填される試料セルと、一定の吸光係数を有する参照媒体と、一つの光源からの照射光を前記試料セルと前記参照媒体とに分岐する光分岐手段と、前記試料セルおよび前記参照媒体を透過した光を検出して光強度に応じた信号を出力する一つの光検出器と、前記光分岐手段から前記光検出器の間の所定位置に配設されて、前記参照媒体の透過光と前記試料セルの透過光とを交互に前記光検出器に照射する光路切換手段と、前記光路切換手段の切り換えタイミングに同期して透過光強度に応じた前記光検出器からの信号をそれぞれ参照透過光強度と試料透過光強度として測定する透過光強度測定手段と、前記透過光強度測定手段によって測定された両透過光強度の比に基づいて、前記流体の濃度を算出する濃度算出手段と、前記濃度算出手段が算出した濃度に応じて、前記流体の濃度を調節する濃度調節手段と、を備えたことを特徴とする流体濃度制御装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-008040
  
• 特開昭54-141693
  
• 特開平4-315020
  
• 特開平4-348255