特許
J-GLOBAL ID：200903043278550822
電子放出素子の製造方法及び画像形成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
世良 和信 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269395
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077388
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：
【要約】【課題】 駆動電圧が低く、電子ビームの広がりが少なく、さらに電子放出効率の高い電子放出素子の製造方法及び画像形成装置を提供する。【解決手段】 電界電子放出素子において、陰極として複数の微細突起のカーボンファイバーの集合体4を形成する工程(図6の(b))と、複数の微細突起のカーボンファイバーの集合体4の一部にエネルギービームを照射し、複数の微細突起のカーボンファイバーの集合体4にエッジを形成する工程(図6の(c)、(d))とを備えることを特徴とする電子放出素子の製造方法とする。
請求項（抜粋）：
電界電子放出素子において、陰極として複数の微細突起の集合体を形成する工程と、前記複数の微細突起の集合体の一部にエネルギービームを照射し、前記複数の微細突起の集合体にエッジを形成する工程とを備えることを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
