特許

J-GLOBAL ID：200903043278982625

微小位置決め装置

発明者： 福山 寛正
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-202532
公開番号（公開出願番号）：特開2006-024050
出願日： 2004年07月09日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：

【課題】真空雰囲気の劣化を防止しかつ位置決め精度が良好な微小位置決め装置を提供する。【解決手段】位置決め対象部4と、位置決め対象部4を変位可能に支持する基部2,3と、位置決め対象部4と基部2,3との間に設けられ、温度変化に応じて伸縮する熱伸縮部10と、熱伸縮部10を加熱又は冷却する温度調節部11とを備える微小位置決め装置とし、熱伸縮部10を加熱又は伸縮したときの熱膨張又は熱収縮によって位置決めを行なう。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

位置決め対象部と、 前記位置決め対象部を変位可能に支持する基部と、 前記位置決め対象部と前記基部との間に設けられ、温度変化に応じて伸縮する熱伸縮部と、 前記熱伸縮部を加熱又は冷却する温度調節部と を備える微小位置決め装置。

IPC (4件)：

G05D 3/00 ,  B23Q 1/34 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G05D3/00 C ,  B23Q1/34 C ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503B

Fターム (23件)：

3C048BB01 ,  3C048BC02 ,  3C048DD09 ,  3C048DD10 ,  3C048EE00 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA09 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA06 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC13 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB12 ,  5H303CC01 ,  5H303DD17 ,  5H303DD19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 精密位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-310282   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (4件)

• ステージの微動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-245561   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭53-099875
  
• 特開昭63-193089
  
• 特開昭62-117015