特許

J-GLOBAL ID：200903043289855544

複層セラミックスヒータ

発明者： 狩野 正樹 ,  中島 亮二 ,  新井 延男
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-181721
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016666
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 本発明は、半導体プロセスにおける昇降温工程に使用される複層セラミックスヒータおいて、発熱層の耐食性に劣る雰囲気下で使用しても、給電端子の消耗が少なく、長寿命の複層セラミックスヒータを提供して操業の安定化と品質の向上をはかる。【解決手段】 熱分解窒化硼素からなる支持基板の表面に、熱分解グラファイトからなる発熱層を接合し、さらに発熱層を覆って支持基板と同じ材質の保護層を形成した一体型の抵抗加熱方式の複層セラミックスヒータにおいて、少なくとも給電端子をヒータの発熱部領域内に存在させずに、給電端子と発熱部端とを所定の間隔はなし、かつヒータの発熱部領域以外に給電端子が存在する領域を設けたことを特徴とする複層セラミックスヒータ。

請求項（抜粋）：

熱分解窒化硼素からなる支持基板の表面に、熱分解グラファイトからなる発熱層を接合し、さらに発熱層を覆って支持基板と同じ材質の保護層を形成した一体型の抵抗加熱方式の複層セラミックスヒータにおいて、少なくとも給電端子を該ヒータの発熱部領域内に存在させずに、給電端子と発熱部端とを所定の間隔はなし、かつ該ヒータの発熱部領域以外に給電端子が存在する領域を設けたことを特徴とする複層セラミックスヒータ。

IPC (2件)：

H05B 3/20 328 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H05B 3/20 328 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 熱分解窒化硼素加熱素子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-509175   出願人：アドバンスドセラミックスコーポレイション
• 特開昭51-048842