光学式寸法測定器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉田政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215332
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052521
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】平行走査光を射出する投光部Tと、被測定物50で部分的に遮られた平行走査光を受光する受光部Rとを別体に分離して構成した光学式寸法測定器において、投光部Tと受光部Rの光軸合わせを容易に実施可能とする。【構成】受光用光学系の集光点を中心として田の字型に4分割されたフォトダイオードにより受光素子70を構成した。【効果】4分割されたフォトダイオードの各受光出力が同じとなるように位置調整を行えば、投光部Tと受光部Rの光軸を容易に一致させることができる。また、通常の測定時には、4分割されたフォトダイオードの受光出力の和を受光信号として採用すれば、受光出力を大きくすることができる。

請求項（抜粋）：

光ビームを等角度走査するためのポリゴンスキャナーと、等角度走査された光ビームを等速度走査に偏向するための偏向用光学系と、等速度走査される光ビーム中に配置される被測定物と、被測定物で遮光されなかった光ビームを集光する受光用光学系と、受光用光学系の集光点に配置された受光素子と、受光素子の受光信号に基づいて被測定物の寸法を出力する信号処理回路系とを備える光学式寸法測定器において、前記受光素子は受光用光学系の集光点を中心として田の字型に4分割されたフォトダイオードよりなることを特徴とする光学式寸法測定器。

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