特許
J-GLOBAL ID:200903043300800447
電界型全反射測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-248579
公開番号(公開出願番号):特開平6-074895
出願日: 1992年08月25日
公開日(公表日): 1994年03月18日
要約:
【要約】【構成】 カセグレン主鏡122及びカセグレン副鏡124を有し、前記副鏡122、主鏡124の順に反射された光を被測定試料上に集光し、その全反射光を主鏡124、副鏡122の順に反射させて得るカセグレン鏡120と、半球状あるいは先端が平頭円錐状に形成され、該半球状の平面あるいは円錐状の平頭面が被測定試料に当接されるとともに、前記カセグレン鏡120の集光位置となるように配置された導電性材料からなる全反射プリズム116と、前記全反射プリズム116側に配置され、所定極性の電圧が印加される誘引電極部と、前記誘引電極部とは逆極性の電圧が印加された電極端面が前記被測定試料に浸漬されるとともに、前記全反射プリズム116の平面あるいは平頭面と平行に対向配置された対向電極部123と、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。【効果】 微量な被測定試料中の測定荷電物質の全反射測定を正確かつ容易に行うことが可能となる。
請求項(抜粋):
カセグレン主鏡及びカセグレン副鏡を有し、前記副鏡、主鏡の順に反射された光を荷電粒子を含む被測定試料上に集光し、その全反射光を主鏡、副鏡の順に反射させて得るカセグレン鏡と、カセグレン副鏡の下部に配置され、半球状あるいは先端が平頭な円錐状に形成され、該半球状の平面あるいは円錐状の平頭面が前記荷電粒子を含む被測定試料に当接されるとともに、前記カセグレン鏡の集光位置となるように配置された導電性材料からなる全反射プリズムと、前記全反射プリズムの平頭面近傍に荷電粒子を誘引させるため、該全反射プリズム側に配置され、所定極性の電圧が印加される誘引電極部と、前記誘引電極部とは逆極性の電圧が印加された電極端面が前記荷電粒子を含む被測定試料に浸漬されるとともに、前記全反射プリズムの平頭面と平行に対向配置された対向電極部と、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。
IPC (3件):
G01N 21/27
, G01N 21/35
, G01N 27/447
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