円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-207722
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039359
出願日： 1998年07月23日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】円錐回折斜入射分光器の収差を極めて少なくするように設計された回折格子を提供する。【解決手段】不等間隔で溝を形成された回折格子の格子面上においてy-z座標を定め、座標原点からn番目の溝上の点(w,l)を次の級数展開式で表し、lを含む項に係る全ての展開係数njk(k≠0)を0と定め、回折格子の焦点距離r'とするとき、走査波長λi=λ0/cosθi(i=1, 2)に対応する回折格子の回転角θの異なる2つの値θ1及びθ2に対応する次式を満たすように、r'及び上記級数展開式の展開係数n20の値を定める。

請求項（抜粋）：

光源からの発散光を収束光に変換する収束光生成手段と、前記光源から前記収束光の焦点へ至る光路上に配置された回折格子とを備え、前記回折格子をその格子面の法線に平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう円錐回折斜入射分光器に用いられる回折格子において、該回折格子を含む分光光学系の焦点を表す光路関数の展開係数の値が波長走査を行なう波長範囲内の少なくとも1つの波長でほぼ0となるように、該回折格子の溝パターンを示す級数展開式である溝関数の展開係数が決定されていることを特徴とする回折格子。

IPC (2件)：

G01J 3/18 , G02B 5/18

FI (2件)：

G01J 3/18 , G02B 5/18

Fターム (11件)：

2G020CA03 , 2G020CC04 , 2G020CC07 , 2G020CC42 , 2G020CC51 , 2G020CD31 , 2G020CD36 , 2H049AA06 , 2H049AA51 , 2H049AA58 , 2H049AA69

引用文献：

審査官引用 (2件)

平成9年度秋季講演会シンポジウム講演要旨集, 19971113, p.26
分光研究, 19890630, 第38巻第3号, p.174〜186

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