特許

J-GLOBAL ID：200903043319965757

熱処理装置

発明者： 大加瀬 亘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン相模株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-229698
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047691
出願日： 1991年08月16日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 面状の被処理体の全面を均一な温度で加熱処理することができる熱処理装置を提供することにある。【構成】 面状の被処理体1の処理面11に対向するよう配置された面状発熱源2と、前記面状の被処理体の処理面とは反対側の裏面12に対向する位置に配置された、当該面状の被処理体の外周縁を超えて伸びる大きさの蓄熱部30とを備えてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

面状の被処理体の処理面に対向するよう配置された面状発熱源と、前記面状の被処理体の処理面とは反対側の裏面に対向する位置に配置された、当該面状の被処理体の外周縁を超えて伸びる大きさの蓄熱部とを備えてなることを特徴とする熱処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-232422
  
• 特開昭58-164222
  
• 特開昭63-058926
  
• 特開昭58-007818
  
• 特開平1-272112