特許

J-GLOBAL ID：200903043322953956

赤外線センサ及びその製造方法

発明者： 中木 義幸 ,  秦 久敏 ,  曽根 孝典
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-305331
公開番号（公開出願番号）：特開2003-106896
出願日： 2001年10月01日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 YBCOをボロメータ材料に用いた赤外線センサより、高感度で低雑音の赤外線センサを提供する。【解決手段】 信号処理部を有する基板上に、赤外線検知部が断熱脚で支持された赤外線センサにおいて、基板と、基板上に固定された断熱脚と、断熱脚に設けられた配線層と、断熱脚で支えられた赤外線検知部であって、配線層に接続された電極と、検知膜とを含む赤外線検知部とを含み、検知膜が、ガドリニウム、バリウム、および銅を主成分とする酸化物のボロメータ材料からなり、ガドリニウム、バリウム、銅の化学量論的組成比が、おおよそ1:0.5〜4:1〜6である。

請求項（抜粋）：

信号処理部を有する基板上に、赤外線検知部が断熱脚で支持された赤外線センサであって、基板と、該基板上に固定された断熱脚と、該断熱脚に設けられた配線層と、該断熱脚で支えられた赤外線検知部であって、該配線層に接続された電極と、検知膜とを含む赤外線検知部とを含み、該検知膜が、ガドリニウム、バリウム、および銅を主成分とする酸化物のボロメータ材料からなり、ガドリニウム、バリウム、銅の化学量論的組成比が、おおよそ1:0.5〜4:1〜6であることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/00

FI (4件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 C ,  H01L 37/00 ,  H01L 27/14 K

Fターム (17件)：

2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BC07 ,  2G065DA20 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  2G066BC30 ,  4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CA14 ,  4M118CA19 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118GA10