特許
J-GLOBAL ID：200903043326645113
薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-531636
公開番号（公開出願番号）：特表平11-503843
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】本発明によるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイは、能動マトリックス、絶縁層、食刻液流入防止層及びM×N個の駆動構造体のアレイを備え、各駆動構造体は遠位端におけるチップと駆動構造体を通じて貫通するエッチング開口とを有し、水平ストライプを有する第1薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部、第2薄膜電極、弾性部及びコンジットを有しており、水平ストライプ、チップ及びエッチング開口は各薄膜アクチュエーテッドミラーの光効率性を増大させ、洗浄処理の際に用いられたリンス液を除去し、且つ、薄膜犠牲層をより一層容易に除去するために形成される。
請求項（抜粋）：
光投射システムに用いられるM×N(M及びNは各々正の整数)個の薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイであって、 基板、各々がM×N個のトランジスタのアレイにおいて対応するトランジスタに電気的に接続されるM×N個の接続端子のアレイ、該M×N個のトランジスタのアレイを有する能動マトリックスと、 前記能動マトリックス上に形成されるパッシベーション層と、 前記パッシベーション層の上に形成される食刻液流入防止層と、 各々が近位端及び遠位端を有し、該遠位端におけるチップと駆動構造体を通じて貫通するエッチング開口とを有し、第1薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部、第2薄膜電極、弾性部及びコンジットを有するM×N個の駆動構造体のアレイとを含むことを特徴とし、 前記第1薄膜電極は前記電気的に変形可能な薄膜部の上に位置し、水平ストライプによって駆動部と光反射部とに電気的に分離され、前記駆動部は電気的に接地されることによって、前記駆動部はミラー及びバイアス電極として作用し、前記光反射部はミラーとして作用し、前記電気的に変形可能な薄膜部は前記第2薄膜電極の上に位置し、前記第2薄膜電極は前記弾性部の上に位置し、前記第2薄膜電極は前記コンジット及び前記接続端子を通じて対応するトランジスタに電気的に接続され、他の薄膜アクチュエーテッドミラーにおける前記第2薄膜電極と電気的に分離されることによって、前記第2薄膜電極が信号電極として作用するようにし、前記弾性部は前記第2薄膜電極の下に位置し、その近位端における下部が能動マトリックスの上に前記食刻液流入防止層及びパッシベーション層を部分的に介在して挿入されることによって、前記駆動構造体を片持ちし、前記コンジットが前記電気的に変形可能な薄膜部から対応する接続端子の上部まで延在して、前記第2薄膜電極を前記接続端子に電気的に接続させることを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイ。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G09F 9/00 360
, H04N 5/74
G02B 26/08 E
, G09F 9/00 360 Z
, H04N 5/74 B
