特許
J-GLOBAL ID：200903043331072067
光情報記録媒体の製造方法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305549
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162579
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 下地膜である高分子化合物膜の化学的安定性を高めることで、光情報記録媒体の繰り返し再生に対する耐久性を高める。【構成】 真空引きされた第1膜形成室12内に基板を基板搬送台34とともに収納し、基板上に高分子化合物膜をスパッタリングする。この基板を基板搬送台34とともに高分子安定化処理室13内に収納し、紫外線ランプ22及び/又は加熱装置23に通電して、先に成膜された高分子化合物膜に常温又は加熱状態で紫外線を照射する。これによって、高分子化合物膜中に含まれる活性な低分子量成分やフリーラジカル等の未反応成分の反応を促進し、高分子化合物膜を安定化する。しかる後に、この基板を基板搬送台34とともに第2膜形成室14内に収納し、高分子化合物膜上に記録膜をスパッタリングする。
請求項（抜粋）：
基体上に高分子化合物膜を真空成膜する工程を含む光情報記録媒体の製造方法において、前記基体上に前記高分子化合物膜を真空成膜したのち、前記高分子化合物膜中に含まれる未反応成分の反応を促進する高分子安定化処理を施すことを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
IPC (4件)：
G11B 7/26 531
, C08J 7/00 304
, C08J 7/04
, C23C 14/12
