特許

J-GLOBAL ID：200903043341245229

形状測定機

発明者： 門脇 聰一 ,  梅田 幸蔵 ,  小島 司
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-190923
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019856
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】 スタイラスの変位量のデータから円弧歪を効率良く補正して一定ピッチの形状測定データを求めることを可能にする。【構成】 測定部1は、円弧作動するスタイラス5をワーク7の表面に沿って移動させながらスタイラス5の変位量データzを所定間隔でサンプリングして出力する。円弧歪補正部2は、スタイラス5が円弧作動することにより生ずる円弧歪を変位量データzに基づいて補正する。定ピッチ処理部3は、円弧歪を補正した後の補正データz′,x′に所定の直線又は曲線を当てはめて定ピッチで再サンプリングする。トレンド除去部4は、定ピッチ処理部3で再サンプリングして求められた変位量のデータz′′にワーク7の表面形状に沿った直線又は曲線を当てはめ、当てはめた直線又は曲線の成分をデータz′′から除去する。

請求項（抜粋）：

円弧作動するスタイラスをワークの表面に沿って移動させながら前記スタイラスの変位量のデータを所定間隔でサンプリングして出力する測定手段と、前記スタイラスが円弧作動することにより生ずる前記スタイラスの円弧歪を前記測定手段から出力されるスタイラスの変位量に基づいて補正する円弧歪補正手段と、この円弧歪補正手段で円弧歪を補正した後の前記スタイラスの変位量のサンプリングデータに所定の直線又は曲線を当てはめて定ピッチで再サンプリングする定ピッチ処理手段とを備えたことを特徴とする形状測定機。