特許
J-GLOBAL ID：200903043341432134
プラズマ装置用マッチング回路
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221660
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088097
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 負荷インピーダンスの変動の大きい誘導結合型プラズマ装置に対するマッチング回路を提供する。【構成】 1)電源と誘導性負荷との間に, 直列にコイルと第1の可変コンデンサを接続し,第1の可変コンデンサと負荷の接続点から電源に並列に第2の可変コンデンサを接続してなるマッチング回路,2)電源と誘導性負荷との間に, 直列にコイルと第3の可変コンデンサを接続し,コイルと第3の可変コンデンサの接続点から電源に並列に第2の可変コンデンサを接続してなるマッチング回路,3)電源と誘導性負荷との間に, 直列にコイルと第1の可変コンデンサと第3の可変コンデンサとを接続し,第1の可変コンデンサと第3の可変コンデンサの接続点から電源に並列に第2の可変コンデンサを接続してなるマッチング回路。
請求項（抜粋）：
高周波電源と誘導結合型プラズマ負荷との間に, 直列にコイルと第1の可変コンデンサを接続し,該第1の可変コンデンサと該負荷の接続点から該電源に並列に第2の可変コンデンサを接続してなることを特徴とするプラズマ装置用マッチング回路。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
