特許

J-GLOBAL ID：200903043350763151

狭帯域レーザ発振方法及びその装置及びこれを用いたレーザ露光装置

発明者： 榎波 智子 ,  榎波 龍雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202276
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058393
出願日： 1993年08月16日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】本発明は、レーザ露光において焦点深度を向上するための狭帯域レーザ光を出力する。【構成】レーザ共振器内にエタロン(25)を配置し、このエタロン(25)に入射するレーザ光の入射角度を断続又は連続的に可変する。この場合、エタロン(25)のレーザ共振器光軸に対する配置位置を調整するものとなり、これをステッピングモータ(27)の駆動によりステップ状に可変する。

請求項（抜粋）：

レーザ共振器内に狭帯域化素子を配置し、この狭帯域化素子に入射するレーザ光の入射角度を断続的に可変することを特徴とする狭帯域レーザ発振方法。

IPC (3件)：

H01S 3/106 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-212437
  
• 特開平4-073926
  
• 特開昭63-228693
  
• 特開昭64-022087