特許

J-GLOBAL ID：200903043352523956

光学部品及びその製造方法並びに製造装置

発明者： 枇榔 竜二 ,  安藤 謙二 ,  鈴木 康之 ,  大谷 実 ,  金沢 秀宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086124
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314716
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】 蛍石基板の光学特性を損なうことなく、蛍石基板のカラーセンターの発生を防止し、所望の分光特性の光学部品が容易に得られる光学部品及びその製造方法並びに製造装置を得ること。【解決手段】 蛍石を主成分とする基板上に、電子またはイオンを放出する成膜装置で少なくともひとつの層の膜を形成して光学部品を製造する光学部品の製造方法において、該基板側より数えて第1層膜にSiO2 ,BeO,MgO,MgF2 のうち少なくとも1種を含み、膜厚30nm以下の膜を形成する段階を有すること。

請求項（抜粋）：

蛍石を主成分とする基板上に、電子またはイオンを放出する成膜装置で少なくともひとつの層の膜を形成して光学部品を製造する光学部品の製造方法において、該基板側より数えて第1層膜にSiO2 ,BeO,MgO,MgF2 のうち少なくとも1種を含み、膜厚30nm以下の膜を形成する段階を有することを特徴とする光学部品の製造方法。

IPC (4件)：

B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/08 ,  G02B 1/11

FI (4件)：

B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/08 N ,  G02B 1/10 A