特許
J-GLOBAL ID：200903043355220369
リンス装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177156
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012537
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】任意の大きさの被処理物の表面に必要な量のリンス液を容易に供給することができるようにしたリンス装置を提供する。【解決手段】被処理物Bの表面にリンス液Lを吐出して、被処理物Bの表面をリンスするリンス装置において、被処理物Bを載置して所定の速度で回転する被処理物回転手段Aと、被処理物Bに対して所定の角度に固定され、被処理物Bの表面にリンス液Lを吐出する所定の径の吐出口を備えたノズル手段Cと、ノズル手段Cの吐出口から吐出されるリンス液の単位時間当たりの流量を制御する流量制御手段Dとを有し、流量制御手段Dは、被処理物Bの大きさに応じてリンス液の単位時間当たりの流量を制御する。
請求項（抜粋）：
被処理物の表面にリンス液を吐出して、前記被処理物の表面をリンスするリンス装置において、被処理物を載置して所定の速度で回転する被処理物回転手段と、前記被処理物に対して所定の角度に固定され、前記被処理物の表面にリンス液を吐出する所定の径の吐出口を備えたノズル手段と、前記ノズル手段の前記吐出口から吐出されるリンス液の単位時間当たりの流量を制御する流量制御手段とを有し、前記流量制御手段は、前記被処理物の大きさに応じてリンス液の単位時間当たりの流量を制御することを特徴とするリンス装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B08B 3/02
, G03F 7/32 501
H01L 21/30 569 C
, B08B 3/02 A
, G03F 7/32 501
