特許
J-GLOBAL ID：200903043358859140
試料加工用装置、試料搬送用装置及び試料搬送・加工用装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085925
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259048
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 板状試料に対する試料加工用装置および試料搬送用装置、あるいは試料搬送・加工用装置において、試料加工用ステ-ジ上で板状試料の厚さが異なっても、上面が同じ高さに位置するようにする。【構成】 板状試料2は板状スペーサ3を用いて試料加工用ステージ1上に配される。該ステージ内に試料載置面1aに沿って第1電極層5を配し、スペーサ3の下面上に平行に第2電極層6を、またスペーサの上面側に平行に第3電極層7を配する。第1電極層5と導電性環体9間に高圧電源8を接続すれば、第1と第2電極層5,6間に静電吸引力が生じ、板状スペーサ3はステージ1の試料載置面1a上に静電吸着固定保持される。また試料2と第3電極層7間にも静電吸引力が働き試料はスペーサ上面に静電吸着保持され、従ってステージの試料載置面上に固定される。試料の厚さに応じた厚さのスペーサを用いれば、試料厚さが異っても載置面から同じ高さに位置するよう固定できる。
請求項（抜粋）：
平らな試料載置面を有する試料加工用ステ-ジと、上記試料加工用ステ-ジの上記試料載置面上に、板状試料を、その上面が上記試料載置面からみて予定の高さ位置に位置するように配するための、絶縁材でなる板状スペ-サと、上記板状スペ-サを上記試料加工用ステ-ジの試料載置面上に静電吸着固定保持させ且つ上記板状試料を上記板状スペ-サ上に静電吸着固定させるための静電吸着固定保持手段とを有し、上記静電吸着固定保持手段が、上記試料加工用ステ-ジ内にその試料載置面に沿って延長するように配されている第1の電極層と、上記板状スペ-サ内の下面側または上記板状スペ-サの下面上に、その下面に沿って延長するように配されている第2の電極層と、上記板状スペ-サ内の上面側に、その上面に沿って延長するように配され且つ上記第2の電極層と互に接続されている第3の電極層と、上記第1の電極層に接続される高圧電源とを有することを特徴とする試料加工用装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B23Q 3/15
, B65G 49/07
, G03F 7/20 504
, H01L 21/68
